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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2025

    7-22

    一、背景概述玻璃生產屬高能耗產業,能源消耗集中于窯爐環節,其能源成本主要體現為天然氣成本,是影響玻璃生產成本的關鍵因素。天然氣成本占比受其類型、價格波動及生產工藝影響,常規為30%-40%;在能源價高地區或生產光伏玻璃等特殊品類時,占比超50%。天然氣雖清潔但價格受國際能源市場波動影響大,穩定性欠佳,給成本控制帶來挑戰。2022年12月實施的《玻璃工業大氣污染物排放標準》(GB26453—2022)大幅收緊排放限值并新增多項控制指標,對玻璃企業的環保治理和能源效率提出更高要求...

  • 2025

    7-8

    一、背景概述合成氨是在高溫高壓和催化劑存在下由氮和氫直接合成氨的過程,是一種基本無機化工流程,在現代化學工業中,氨是化肥工業和基本有機化工的主要原料,我國由于煤炭資源豐富、油氣資源相對貧乏,主要以煤生產氨,有研究數據表明,用煤、焦炭為原料的合成氨產量約占總產量的60%以上,其生產工藝的核心流程包括煤氣化制合成氣、變換、脫硫、脫碳、凈化、氨合成、分離等環節,氣體分析在各階段的工藝控制、質量監測及安全運行中都極為關鍵。二、合成氨生產工藝以煤為原料的制氣方法包括德士古水煤漿加壓氣化...

  • 2025

    7-1

    行業背景鋼鐵廠和發電廠之間的煤氣與電力互供合作,是跨行業能源協同利用的典型范例。鋼鐵生產過程中會產生大量副產煤氣,包括高爐煤氣、焦爐煤氣和轉爐煤氣等,這些煤氣富含較高熱值,是優質的能源資源。與此同時,發電廠需要穩定的燃料供應以維持電力生產。鋼鐵行業作為能源消耗大戶,用電成本在其生產成本中占據較高比例。通過這種合作模式,鋼鐵廠將副產煤氣輸送至發電廠用于發電,發電廠則將電能回輸給鋼鐵廠,從而實現能源的高效利用,同時顯著減少溫室氣體排放,推動綠色低碳發展。這種協同合作模式的歷史可追...

  • 2025

    6-30

    濟寧盈寶氣體有限公司依托變壓吸附(PSA)焦爐煤氣提氫技術,將PSA工藝產生的解吸氣作為清潔燃氣供應給開發區下游客戶,并采用熱值結算模式。公司在解吸氣出口部署四方儀器激光拉曼光譜分析儀,實現燃氣組分與熱值的同步測量。相較于非分光紅外、氣相色譜等傳統分析設備,該設備具備測量組分全面、前處理系統簡單、故障率低、響應速度快等顯著優勢。現場應用數據顯示,清潔燃氣熱值數據較之前提升200-300kcal/m3,穩定在4800-5500kcal/m3區間,預計為企業清潔燃氣業務板塊新增年...

  • 2025

    6-26

    當2025年6月“安全生產月"活動進入倒計時,化工人的心頭卻壓著一道沉重命題——如何阻止下一個爆炸事故的發生?5月27日山東高密化工廠的爆燃聲猶在耳畔,事故原因仍在嚴密調查中。硝煙雖散去,警鐘卻長鳴。怎樣才能讓悲劇止步于監測儀表的警報響起之前,這不僅是六月之問,更是化工安全365天的生死命題。歷史警鐘:泄漏監測缺失的血色啟示值此安全生產月宣傳之際,國家應急管理部對以往六月發生的化工行業典型事故做出匯總。公布事故顯示,近十年僅六月發生的典型化工事故便觸目驚心:泄漏引爆占比極大:...

  • 2025

    6-25

    1、背景概述據悉,2025年1月10日,第三輪第三批中央生態環境保護督察組向一央企進行督察反饋。在督察反饋中提到企業大氣污染防治推進不力,個別企業燃煤鍋爐氨逃逸問題嚴重。氨逃逸是工業脫硝過程中未反應的氨隨煙氣排放到大氣中的現象;近些年,隨著氮氧化物排放管控越來越嚴格,企業為了滿足嚴苛的氨氧化物排放標準,企業通常采用“過量噴氨"策略,犧牲氨逃逸率換取氮氧化物達標。有的企業為節省液氨成本,刻意減少噴氨量,但氨氧化物超標時又突擊加氨,形成“脈沖式逃逸"。2、排放標準?大氣氨排放限值...

  • 2025

    6-19

    一、背景概述鋼鐵冶金行業作為國民經濟的重要支柱產業,其生產過程復雜且涉及眾多化學反應。鐵前工序是鋼鐵生產的起始階段,主要包括原材料預處理、燒結、焦化、高爐煉鐵等環節,此階段產生的氣體種類繁多、成分復雜,對生產效率、產品質量以及環境安全均有著至關重要的影響。因此,建立一套精準、高效的鐵前過程氣體監測方案,對于保障鋼鐵生產的穩定運行、節能減排以及實現可持續發展具有深遠意義。二、工藝簡介下圖為鋼鐵冶金過程的鐵前工序流程圖,其主要涵蓋三個部分,分別為煉焦、燒結和高爐煉鐵。其中鐵前爐料...

  • 2025

    6-13

    1.氫燃料發動機的發展趨勢氫能作為零碳清潔能源,兼具環境效益與戰略價值:其燃燒產物僅為水,可實現真正的零二氧化碳排放,同時顯著降低對化石燃料的依賴。2025年1月1日,《中華人民共和國能源法》正式實施,將氫能納入國家能源體系,標志著我國氫能產業進入規范化發展的新階段。當前氫燃料交通技術主要分為兩條路徑:?氫內燃機汽車(H2ICE):在燃料電池成本高、技術尚不成熟的背景下,H2ICE憑借與傳統內燃機的兼容性,成為商用車及非道路機械領域的過渡優選。?燃料電池汽車(FCV):長期來...

  • 2025

    6-4

    一、行業背景:非道路移動機械排放治理的緊迫性我國非道路移動機械(主要包括工程機械和農業機械)保有量持續增長,其排放污染問題日益突出。2023年數據顯示,工程機械、農業機械排放的NOx分別占移動源排放總量的14%、17%;排放的顆粒物(PM)分別占移動源排放總量的26%、33%。非道路移動機械排放已成為影響空氣質量的主要污染源,亟需有效治理。圖12014-2023年工程機械和農業機械保有量變化趨勢圖22023年工程機械和農業機械的NOx和PM排放量分擔率二、政策驅動:標準升級與...

  • 2025

    5-27

    一、滲碳工藝里的“碳勢密碼":為什么測準碳勢這么重要?在熱處理滲碳工藝中,碳勢堪稱決定工件性能的“靈魂參數"——它代表著滲碳氣氛與工件表面的“碳交換能力",直接影響表面硬度、滲層深度和組織均勻性。舉個例子,碳勢波動0.1%,可能導致工件表層100μm內碳濃度變化超0.05%,進而影響耐磨性和疲勞壽命。對于汽車齒輪、航空軸類等關鍵部件,碳勢失控可能引發批量質量隱患。那么,如何精準捕捉這一“看不見的碳信號"?目前主流測定方法各有千秋,選對方法才能少走彎路。二、五大主流測定方法全解...

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