全國(guó)服務(wù)咨詢熱線:
18627990650
18627990650
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 技術(shù)文章
一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測(cè)的重要性與難點(diǎn)在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，氧污染會(huì)引發(fā)不必要的氧化反應(yīng)，導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷，進(jìn)而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此，半導(dǎo)體制造商必須對(duì)工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控，即便是微量氧氣（低至ppm級(jí)）也可能顯著損害元件性能。目前，半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測(cè)主要面臨以下技術(shù)難點(diǎn)：需實(shí)現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測(cè)；需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測(cè)；需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行。在眾多氣體檢測(cè)技術(shù)中，氧...
6-15
煤氣熱值是燃?xì)鈠ui主要的質(zhì)量指標(biāo)，及時(shí)準(zhǔn)確地測(cè)量煤氣熱值,對(duì)于合理生產(chǎn)和有效利用燃?xì)饽茉从兄匾囊饬x。因此，冶金行業(yè)歷來(lái)都很重視對(duì)煤氣熱值的監(jiān)測(cè)。熱值分析是煤氣混合站中較為關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，擔(dān)負(fù)著煤氣混合站的一個(gè)重要工藝值---煤氣熱值的檢測(cè)，對(duì)于保證工藝設(shè)備正常、提高燃燒效率和改善煉鋼品質(zhì)起著舉足輕重的作用。煤氣混合站通常是將高爐煤氣與焦?fàn)t煤氣加壓后再混合，形成穩(wěn)定的混合煤氣送往工業(yè)用戶作為生產(chǎn)燃料，混合煤氣熱值要求穩(wěn)定在一定值。為保證煤氣熱值的穩(wěn)定，就必須測(cè)量混合煤氣的熱值...
6-26
介紹一種采用新型非分光紅外NDIR、熱導(dǎo)TCD技術(shù)以及電化學(xué)傳感器的多組分煤氣成分快速分析儀器。該分析儀通過(guò)采用基于新型電調(diào)制紅外光源的多通道紅外氣體探測(cè)技術(shù)，配合MEMS技術(shù)的熱導(dǎo)TCD分析，長(zhǎng)壽命電化學(xué)O2、H2S傳感器，可以在一臺(tái)儀器中實(shí)現(xiàn)煤氣成分中CO2、CO、CH4，O2，H2S，H2等氣體的實(shí)時(shí)快速測(cè)量相關(guān)鏈接：Gasboard-3000紅外煙氣分析儀Gasboard-3020紅外氣體分析儀Gasboard-32XX紅外沼氣分析儀Gasboard-7000熱導(dǎo)氣體...
3-26
本文章為紅外分析儀器工作基本原理.紅外氣體分析儀器技術(shù)根據(jù)光源調(diào)制的類型可以分為機(jī)械調(diào)制和電調(diào)制兩種模式.機(jī)械調(diào)制的特點(diǎn)是調(diào)制深度深,頻率可以很高.但是結(jié)構(gòu)復(fù)雜,價(jià)格也相對(duì)焦貴,電調(diào)制的特點(diǎn)是沒(méi)有移動(dòng)部件,光源壽命長(zhǎng).功耗低,價(jià)格也相應(yīng)低些.相關(guān)鏈接：Gasboard-3000紅外煙氣分析儀Gasboard-3020紅外氣體分析儀Gasboard-32XX紅外沼氣分析儀Gasboard-7000熱導(dǎo)氣體分析儀Gasboard-4（5）020汽油車排氣分析儀Gasboard-3...
3-26
介紹一種采用新型非分光紅外NDIR以及電化學(xué)傳感器的沼氣成分分析儀器。該分析儀通過(guò)采用基于新型電調(diào)制紅外光源的多通道紅外氣體探測(cè)技術(shù)，配合長(zhǎng)壽命電化學(xué)O2、H2S傳感器，可以在一臺(tái)儀器中實(shí)現(xiàn)對(duì)垃圾填埋場(chǎng)、污水處理廠、發(fā)酵過(guò)程等沼氣成分中CO2、CH4、O2、H2S等氣體的實(shí)時(shí)快速測(cè)量相關(guān)鏈接：Gasboard-3000紅外煙氣分析儀Gasboard-3020紅外氣體分析儀Gasboard-32XX紅外沼氣分析儀Gasboard-7000熱導(dǎo)氣體分析儀Gasboard-4（5）...
全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)電話
027-81628829
電子郵箱：cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn
公司地址：武漢市東湖高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鳳凰產(chǎn)業(yè)園鳳凰園中路6號(hào)
業(yè)務(wù)咨詢微信
